手艺特点
- 可选配大功率光源405nmLD、355nmDPSSL（Dpssl355nm激光光源寿命大于20000小时）
- 标准支持12英寸幅面基板，其他幅面可定制
- 多维光刻(偏振曝光、干预曝光、1024阶3D曝光)
- 高细密工件台
- 高精度环控系统
- 自动聚焦，实时瞄准
- 分区定位，多基片，多使命曝光
- 支持自动与手动瞄准
- GDSII、BMP、STL等文件名堂支持
规格参数
* 详细指标因工艺差别有所差别
应用示例
数字化光刻
高端仪器装备
MiScan 高效混淆直写光刻系统