手艺特点

- Nanocrystal是专门为纳米光学结构制备而设计的无掩模光刻系统,设置了可一连变空频的位相关预系统,实现亚波长光学结构的亚纳米调控精度制备。
- 该光刻系统接纳355nm紫外光源、大数值孔径(NA=0.9)干预光学系统、百微米像素视场规模,知足150nm-5μm规模微纳光学结构制备,设置3D导航聚焦、航行高速曝光模式,是大幅面亚波长结构制备的优异手段�?捎τ糜诠庾泳濉⒀苌涔庋骷⒐獬〉骺叵允尽⒐庋С饷驳妊芯亢推骷票�。
规格参数

* 详细指标因工艺差别有所差别
应用示例






* 详细指标因工艺差别有所差别



