手艺特点
- 针对异质结电池片铜栅线工艺的图形化需求，专门设计了一款投影扫描光刻系统，具有快速光刻、区分率好、大焦深的特点，接纳405nm光纤激光光源，很是适合在光伏专用感光油墨上举行曝光，实现高品质的槽型结构。设置了CCD识别基片纠偏系统，实现30μm瞄准精度。
- 该投影扫描光刻模式，接纳较低本钱的通俗掩模版作为图形输入，且具有曝光匀称性与一致性好、工艺窗口大、对基片厚度误差顺应性高、便于与前后道装备组线的优点，是光伏图形化的理想解决计划。
规格参数
* 详细指标因工艺差别有所差别
接纳抛光基片，负光刻胶的光刻效果
接纳光伏镀铜基片，感光油墨的光刻效果
