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FlexAligner-P500

手艺特点

用于衍射光波导及DOE衍射光栅,大面积、高保真、高效率复制。

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功效参数

  • 支持自动脱模功效,脱模速率/力度可软件设置
  • 上胶模式:支持子模胶图形化上胶,兼容柔性子模具制作、子模自动一键更新
  • 压印平台:多通道微孔吸附托盘,真空区域自力设置,支持托盘控温加热功效,温控匀称度优于±4%,支持自动冷却系统(可�。�
  • 套准压�。ǹ裳。� X-Y-θ-Z平台+高精度CCD光学视觉识别
  • 压印模式:卷对平光固化压印,柔性透明模具;支持托盘加热温控(up 100℃)
  • 压印匀称性:500mm规模内印匀称性优于±5%,侧壁角度大于85度
  • 压印残留层:压印结构50nm-2μm,压印残留层小于20nm
  • 光源:线光源曝光模式,365nm LED,光功率密度2000mW/cm2, 光功率匀称性优于90%
  • 上胶方法:旋涂/网纹/喷胶 可选
  • 衬底尺寸:500*500mm方形玻璃
  • 软件界面:15寸彩色触摸屏
  • 净化品级:内部情形Class10(外部情形要求:Class100)
  • 装备体积:2160mm (L) × 2060mm (W) × 2460mm (H)
  • 情形要求:情形温度:15-25℃,湿度:≤70%

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