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FlexAligner-P300

手艺特点

用于衍射光波导/微透镜阵列等高保真、高效率复制 ,支持双面图形套准压印 。

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功效参数

  • 压印幅面:最大幅面12英寸
  • 衬底尺寸:8英寸/12英寸带Notch玻璃/硅片,兼容4英寸/6英寸硅片
  • 压印模式:卷对平压印;   平对平压� 。ǹ裳 。�
  • 上胶方法:旋涂;  点胶(可� 。�
  • 压印精度:压印匀称性优于±5%
  • 残留层:压印结构50nm-2μm ,压印残留层小于20nm;压印结构5μm-100μm ,残留层厚度细密可控
  • 套准压� 。�6轴细密调解平台实现套准压印精度±5μm
  • 固化光源:1000mW/cm2@365nm(LED面光源)
  • 压印平台:支持平台加热及自动冷却功效 ,加热温控up 100?C±3% ,支持自动冷却系统 ,以及支持微孔晶圆吸附功效
  • 净化品级:内部情形Class10(外部情形要求:Class100)
  • 情形要求:情形温度:15-25℃ ,湿度:≤70%

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